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        FB7008D型 多功能等離子體實驗儀

        產品名稱:FB7008D型 多功能等離子體實驗儀

        產品詳情

        本實驗裝置由本公司與浙江大學共同研制。
        鍍膜原理
        真空濺射離子、電子飛速運動,放電離子飛速轟擊機臺靶面,濺擊大量(銀、銅等)介質,原子逐步沉積到基片襯底表面成膜。
        主要實驗內容
        ☆不同金屬材料薄膜制備;
        ☆利用空陰極放電制備了CU和Ag涂層研究空陰極對薄膜結構;
        ☆在光學材料上薄膜的制備及特性的測量的影響;
        ☆研究離子轟擊對膜性質的影響。
        儀真空系數:旋片式真空泵,單相220V,抽速4L/s,極限真空:6×10-1Pa。
        ☆工作氣壓:10~200Pa;
        ☆工作電壓:0~1500V可調
        ☆工作電流0~200mA可測量
        ☆基臺加熱控溫系統室溫200度;
        ☆濺射鍍膜鐘罩直徑140mm高度150mm;
        ☆基臺可升降,可調范圍:10~50mm。

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